Китай создал собственную литографическую DUV-машину, работающую по техпроцессу 65 нм
Агентство Bloomberg сообщает, что в Китае местные производители оборудования для производства полупроводниковой продукции смогли заметно улучшить параметры своей иммерсионной литографической машины, работающей в DUV-диапазоне, несмотря на санкции со стороны США…